二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR200 #293814441 待售
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ID: 293814441
晶圓大小: 6"
優質的: 2000
Implanter, 6"
Central Processing Unit (CPU): MVME162-P244LSE
Gas box:
BF3 Safe Delivery System (SDS)
PH3 Safe Delivery System (SDS)
AsH3 Safe Delivery System (SDS)
SiF4 Safe Delivery System (SDS)
Argon (External Feed)
Chamber: CT-10 Cryo pumps
Source turbo: STP-1000C
Mass Resolution Slit (Mrs) turbo: STP-361C
Source backing: QDP40
Wafer loader: QDP80
EH500 Blower
Source type: Indirectly Heated Cathode (IHC)
Enlarged chamber
High Density Plasma Flood System (HDPFS)
Wheel: DIRECT DRIVE
Wafer on gripper sensor
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR200是一種先進的離子植入器和監控器,可對多種材料進行高精度處理。該模型特別適合於芯片制造,可以控制每個離子植入物的精確深度和組成。AMAT xR200提供了許多令人印象深刻的功能,使其非常適合各種應用程序。它具有高精度的四軸移梁器,能夠準確控制植入梁的方向和角度。這有利於達到最終產品所需的確切化學成分。此外,該機具有高分辨率的計算機控制的光束發生器,可以為每個植入物提供精確的光束成形和調制控制,允許非常精確和準確的結果。機器配備了一個清潔站,可以方便地處置和處置植入過程中產生的不需要的顆粒。這有助於減少停機時間和提高植入質量。此外,APPLIED MATERIALS xR200有一個內置的光束監視系統,可在植入不在指定參數內時監視植入光束並向操作員發出警報。這有助於確保植入結果成功和一致。XR200包括一個自動配方加載程序,允許操作員使用直觀的圖形用戶界面加載和存儲植入參數和配方步驟。此功能顯著縮短了安裝時間,並支持最高效、最精確的植入過程。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS xR200是精密半導體加工的理想解決方案。其先進的特性和工具使得它非常適合廣泛的應用,從芯片制造到其他離子植入應用。其高精度控制、自動配方裝載機和波束監控系統確保操作員每次都能取得最佳效果。此外,機器直觀的用戶界面和易於使用的清潔站使其易於使用和維護。AMAT xR200具有令人印象深刻的特點和性能,是實現半導體加工精度和可重復性最高水平的絕佳選擇。
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