二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR200 #9032623 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS xR200是一種離子植入器和監控設備。它被用於半導體和微電子工業中，以創造和監測離子註入，這是生產半導體元件必不可少的過程。AMAT xR200是一個獨立的系統，提供高通量和高效的離子植入。該單元包括離子源、加速器部分、減速器部分和裝配線。離子源負責產生所需的離子類型和數量，然後這些離子沿著加速器截面加速到所需的速度和能量。然後他們進入減速器部分，其中所需的離子特性被操縱，以控制他們的位置和劑量率獨占。一旦設定了所需的特性，離子就會以正負的毛毯劑量註入裝配線，這取決於所需的植入物種類。在植入過程中可以調整劑量率，使用戶能夠在整個底物上保持所需的摻雜水平。一旦進入裝配線，離子就被監控，可以調整植入參數。APPLIED MATERIALS xR200是一種高度精確的機器,分辨率為光束電流的0.1%。這使得對植入物劑量的控制極為精確和可重復，使得該工具適合用於各種植入物種類。其先進的控制系統還在溫度變化下提供了卓越的穩定性，確保劑量率穩定恒定。此外，xR200還配備了一系列安全功能。它的安全互鎖資產可防止操作員意外接觸超快速帶電粒子和射頻能量,而Fault-Safe功能可確保模型在發生故障時關閉。綜上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS xR200是一種準確可靠的離子植入器和監控設備。其高通量、高效率的運行使其非常適合用於半導體和微電子生產過程，而其先進的安全功能為用戶提供了更多的安心。