二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 #9235954 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS xR80 Ion Implanter and Monitor是一種先進的離子植入和監測設備,旨在提供精確劑量的植入物種,在先進的半導體材料中創建精確定制的層。該技術可用於生產性能高、性價比高、可靠性好的半導體器件。該系統利用離子源沿軌跡路徑生成離子束。AMAT xR80采用先進的磁性技術來精確控制和引導離子沿著預設路徑。軌跡路徑由加入APPLIED MATERIALS XR 80的先進氣體噴射單元進一步細化,以允許註入不同能量的離子,帶動器件材料中目標層的形成。XR80還配備了高性能的法拉第監視器,可以不斷獲取光束參數的數據,如能量、電流和位置,以便進一步完善植入過程。XR 80設計為與幾種類型的離子相容,並經常被用來製造和監控矽、砷化的、III-V半導體和二氧化矽中的高溫植入物。此外,AMAT XR 80還提供了一種先進的工藝控制技術,用於監測和控制劑量和劑量率。APPLIED MATERIALS xR80還配備了高速溫度控制機,以確保離子註入過程的最佳條件。在集成到設備制造過程中,AMAT/APPLICED MATERIALS XR 80允許高精度植入物快速交付,從而縮短周期時間。AMAT/APPLIED MATERIALS xR80提供的高分辨率掃描和監測也有助於驗證和提高設備的可靠性。AMAT xR80平臺還確保低擁有成本,因為大多數組件都是用戶可使用和可重復使用的,從而降低了與離子註入過程相關的總體成本。總體而言,APPLICED MATERIALS XR 80 from AMAT是一種先進的離子植入器和監測器,能夠提供精確和受控的離子植入以及對劑量和劑量率的監測。此技術允許高效生產各種材料中的高性能、經濟高效和可靠的設備,從而徹底改變設備制造。
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