二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 #9262468 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS xR80離子植入器和監控器是一種前沿植入器技術,旨在提高離子植入過程的生產率和準確性。AMAT xR80是一種高功率、高精度的植入器,它允許更大的過程重復性和改進各種材料的植入。在離子註入中,加速離子束用於通過將原子從束轉移到基板上來修改基板材料的性質。APPLIED MATERIALS XR 80使用靜電法加速離子束。它配備了先進的光束電流監測器,能夠控制電流,以確保植入材料的精確和可重復性。這種精度是通過使用植入器的高精度、真空絕緣離子源、離子濾波器和多束設計來實現的。APPLIED MATERIALS xR80還包括各種過程監控功能。配備了運行結束傳感器、前饋掃描校正、24小時流程監控系統以及多種其他質量控制功能。所有這些特性都允許改進過程控制和可重復性,以及改善同一基板上多個植入物之間的重復性。AMAT XR 80還利用專有的高速數字通信接口進行有效的光束控制。這種高速數字通信接口允許即時光束控制和優化,以提高植入過程的生產率和效率。XR80還擁有業界領先的真空絕緣離子源,可提供高產率和均勻性的植入材料。這種先進的離子源還可以提高光束穩定性和位置精度,允許更大的結深和更好的深度均勻性。XR 80還能夠延長0-80 keV的電壓範圍,允許多種高能植入物。AMAT/APPLICED MATERIALS XR 80除了其植入能量範圍廣泛外,還提供了無與倫比的位置精度和可重復性,允許高長寬比口罩中的精確植入。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS xR80是一種頂級的離子植入器和監視器,提供卓越的離子植入過程。其先進的光束控制系統和高精度元件,使產品產量和工藝均勻性得以提高,成為精密植入工藝的理想選擇。
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