二手 AXCELIS Optima MD #293628043 待售
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已售出
ID: 293628043
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Ion implanter, 12"
Medium current implant
Injector
Target positioning or scanning system
CIM: GEM
Gas box
Factory interface: (4) FOUP
Charge control: PLASMA Flood gun, 12" (HP Xe DIN 6 Connection)
End station
Handler system:
AXCELIS Vacuum robot
YASKAWA XU-RC400M-A00 Robot ATM
Linear scan system
CTI Cryo pump system:
IS8
(2) IS250
(2) IS320
(2) PFEIFFER Turbo pumps TMH 1201 for beamline
(2) BUSCH BC100 Rough pumps source or LL+ Transfer
(6) String lines:
Line 1: HP Argon VCR 1/4"
Line 2: SDS PH3 VCR 1/2"
Line 3: SDS AsH3 VCR 1/2"
Line 4: SDS BF3 VCR 1/4"
Line 5: SDS GeF4 VCR 1/4"
Line 6: HP Xe DIN 6
AFFINITY Chiller
(2) CTI Cryo Compressors
2006 Vintage.
AXCELIS Optima MD是一種具有數字和模擬功能的離子植入器和顯示器。這臺機器旨在幫助各種行業的半導體晶圓的加工。它的靈活性和準確性使得它特別適合於當今的晶圓制造過程。Optima MD提供了廣泛的過程，如離子植入、玻璃沈積和外延生長。它可以植入輕質和重質離子，並可用於200 keV和2x1016 離子/cm2劑量的各種能量範圍。它還提供各種來源選項以適應不同的晶圓要求。此外，該機還配備了板載端點檢測系統，以確保植入精度，以及自動晶圓對準。植入器的數字化特性提供了簡單全面的配方控制。基於GUI的監視和控制軟件包允許用戶訪問各種配方和自定義參數以適合各個流程。機器還包括高級診斷,以及帶有實時數據顯示的警報和狀態面板。AXCELIS Optima MD配有堅固的不銹鋼外殼和控制平臺。它還提供了一系列額外的附件和組件，如離子束掃描系統和過程控制模塊。該系統設計為易於直觀操作，即使經驗有限的工作人員也是如此。Optima MD可以為離子植入處理提供全面可靠的解決方案。由於其靈活的設計、強大的數字平臺和廣泛的功能,它是最高效、最精確的機器之一。此外，它易於使用和設置，使其成為任何晶圓制造工藝的理想選擇。
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