二手 AXCELIS Optima MD #293723865 待售

AXCELIS Optima MD是由AXCELIS Technologies制造的先進離子植入器和顯示器設備。該系統被半導體工廠用於蝕刻和摻雜小型半導體器件。它專為高產量、低擁有成本、高吞吐量而設計。Optima MD由操作具有16 GB內存的英特爾酷睿i7處理器的MSX控制器提供支持。其主要部件包括具有優化吞吐量的自動晶圓處理單元、電動晶圓傳遞臂、光束進近組件和自動光束轉向能力。它效率高,可實現高達90 WPH的速度。AXCELIS Optima MD還配備了強大的離子植入器，能夠提供高達6 x 10^15 離子/cm2的靶向峰值劑量。一個非常高效的電子進紙機有助於保持高精度劑量，提供一個非常可重現的過程。它還能夠提供不同的離子能，而無需單獨/雙離子源系統。Optima MD也有強大的實時監控工具。它可以檢測任何異常或意外事件,為用戶提供重要數據和警告。流程數據可以存儲在FTP文件中,以便將來進行檢查和分析。此外，AXCELIS Optima MD具有獨特的三維梁輪廓能力。這允許用戶查看實際的梁輪廓，並相應調整梁對準，以達到理想的工藝效果。集成過程分析軟件有助於快速識別過程並減少產品變化。Optima MD是一種可靠可靠的資產,有助於最大程度地減少停機時間。它使用高度可靠的真空模型快速植入周期，減少產品停機時間。該設備還利用低功率、直流供電的離子源提供高劑量率。AXCELIS Optima MD是高產量、高性價比制造的理想植入器和監控系統。其高效、易於使用的界面和強大而可靠的元件使其成為半導體工廠的一個值得選擇的選擇。