二手 AXCELIS Optima MD #9377001 待售

AXCELIS Optima MD
ID: 9377001
Ion implanter, 12" 2007 vintage.
AXCELIS Optima MD離子植入器是世界上最先進的離子植入器和監視器。它旨在提高生產率,提高產量和成本效益。這種高度復雜的工具提供高吞吐量能力和強大的過程控制。Optima MD提供高加速度電壓和高光束電流,可獲得優異的植入效果.其先進的端站電源確保在要求最苛刻的應用中始終保持劑量均勻性。緊湊的設計即使在最有限的空間中也能提供最大的正常運行時間和靈活性。AXCELIS Optima MD還提供了一個獨特的顯示器設備,該設備具有獲得專利的Pro- Monitor™系統,該系統可以不斷監控過程參數並檢測過程變化,以確保設備輸出可重復的高質量植入物。Optima MD專為超高生產率和最高工藝可重復性而設計。AXCELIS Optima MD獨特的過程控制單元提供連續的過程監視以檢測任何過程不穩定。本機提供優越的濺射屈服和改進的粒子控制,使設備產生最精確的植入過程。Optima MD配備了離子束診斷工具的最新技術,包括Opticore™電流監視器和Modemission™束形狀監視器。這些高級工具可加快周轉時間並改進過程控制。最後,AXCELIS Optima MD提供了真正的即插即用功能,允許快速設置和實施。用戶友好的操作工具與全面的診斷和過程軟件套件相結合,保證了與任何特定環境的平穩集成。用戶界面允許輕松導航和了解植入參數。綜上所述,Optima MD是一款具有卓越工藝控制能力、高通量、出色植入均勻性的先進離子植入器。其各種診斷工具旨在檢測任何過程的不穩定性,以加快響應速度和提高產品產量。此外,用戶還可以享受AXCELIS Optima MD的即插即用功能和用戶友好界面。
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