二手 EATON NOVA / AXCELIS 1204990 REV C #9145255 待售

EATON NOVA/AXCELIS 1204990 REV C離子植入器和監視器是一種最先進的設備，用於以受控方式將離子植入半導體基板。它的設計目的是能夠在薄膜中制作精確和精確的深度剖面，並確定需要調整的參數，以便取得最佳結果。該系統由幾個部分組成，其中最重要的一個是真空室。這是實際的離子植入程序發生的地方，它的墻壁由不銹鋼制成。它的真空用保持預定壓力水平的氣動裝置排空。這對於在植入過程中保持底物的穩定性和完整性很重要。該機還配備了各種計算機控制的測量和分析工具。其中包括殘留氣體分析儀、質譜儀、離子監測器和質量過濾器。質譜儀用於識別正在植入的離子種類，而離子監測儀則允許對植入及其影響進行持續監測。這有助於確保該過程產生所需的結果。該工具還具有用於精確光束轉向和聚焦的高精度離子光學元件。這對於獲得所需的深度和剖面以及控制離子在底物上的分布非常重要。資產還包括二次電子倍增器，用於更好地檢測離子進入底物時產生的二次電子。這有助於提高流程的準確性和可重復性。AXCELIS 1204990 REV C離子植入器和監視器是提供高度準確可靠植入過程的先進型號。它的組件被設計為質量最高的組件,並配置為協調一致地協同工作,從而提供高效、可靠和經濟高效的結果。是現代半導體芯片質量控制的理想設備。