二手 EATON NOVA / AXCELIS 1204990 REV C #9145256 待售

EATON NOVA/AXCELIS 1204990 REV C是由AXCELIS製造的離子植入器和監聽裝置。這種裝置用於半導體制造過程，如摻雜區域的矽片摻雜。AXCELIS 1204990 REV C采用先進的離子植入技術,具有精確、均勻的電氣特性.該設備設有一個帶有x-y掃描儀、晶片級和多絲離子源的控制器單元，全部組合在一個幀中並集成到一個自動化系統中。晶片級用於在矽片加工過程中保持和旋轉晶片。該掃描儀用於精確放置離子束，以達到所需的摻雜位置。多絲離子源是離子束形成光學器件的組成部分，用於生成一束高能正負離子的所需元素，並引導它們走向晶圓的目標區域。EATON NOVA 1204990 REV C的設計允許精確控制離子束植入過程，提供對被植入離子的能量、劑量和輪廓的精細控制。控制器能夠同時控制恒流和恒壓植入模式，電壓、電流和離子種類的可定值。該裝置還配備了一系列監控系統，用於監控和維護離子植入過程的質量。1204990 REV C能夠顯示以圖形表示的數據,從而提供該過程的深入圖片。EATON NOVA/AXCELIS 1204990 REV C是控制和監測半導體制造植入過程的理想設備。它提供了對離子植入過程的高度精確的控制，使得復雜和精確的摻雜結果。綜合監測系統還能夠以確保高質量最終產品的方式維護工藝參數。AXCELIS 1204990 REV C以其先進的技術和精確的控制，是一種可靠、通用的半導體制造裝置。