二手 EATON NOVA / AXCELIS 25D1HE #9142166 待售

EATON NOVA/AXCELIS 25D1HE離子植入器是一種用於半導體制造和組裝的高精度、高性能的機器。這種離子植入器特別適合於高效的離子植入和三維堆叠模具或MEMS/MOEMS設備的監測。AXCELIS 25D1HE的重要組成部分包括：高分辨率、高精度掃描電子顯微鏡；聚焦離子束（FIB）柱；遠程等離子體源（RPS）；以及高力電子束（HFEB）柱。EATON NOVA 25D1HE的顯微鏡能力允許對具有次埃分辨率的納米結構進行成像。離子束柱能夠以高達1 MeV的植入物能量進行離子植入，並能聚焦光束以確保植入物的均勻性。RPS使用戶能夠在植入室內生成等離子體。這有助於更快的植入，改善植入物的均勻性，並減少設備不對準。HFEB列提供高精度的特征控制,允許用戶以更高的精度和可重復性蝕刻特征。25D1HE還提供了一個連續記錄離子植入器性能的集成監控設備，向用戶提供實時反饋。這種監測系統利用各種傳感器和診斷來測量和顯示諸如離子束參數、腔室壓力和電池溫度等診斷參數的值。它還允許用戶跟蹤和記錄植入過程的信息，以確保成品設備的最高質量和準確性。EATON NOVA/AXCELIS 25D1HE是一種可靠、先進的離子植入器和監控裝置。它在各種離子植入任務中提供卓越的性能和準確性，使其成為原型和生產應用的絕佳選擇。利用其集成的監控機器，用戶可以不斷評估機器的性能，使他們能夠生產出具有最佳效果的設備。