二手 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #123090 待售

EATON NOVA/AXCELIS 6200是一種高度先進的離子植入器和監控器，能夠控制離子植入過程的各個方面。它專為工業生產晶片而設計，能夠提供非常精確的半導體制造劑量和植入物深度。該機與基於加速器的機器一樣，基於分子離子的高加速度。這使用戶能夠在晶片表面上實現精確的均勻性。離子束電流的控制由離子電流監測器調節。該監視器能夠以0.1mA分辨率測量光束電流,提供異常精確的結果。梁電源由雙操作系統組成。這可以通過垂直平移級和旋轉級定位到晶片平面。後者可以水平和縱向旋轉，對於轉動晶圓不易接近的任何部分都有用。AXCELIS 6200還具有植入物參數、劑量水平、劑量率等一系列可編程參數。用戶可以為任何任務配置這些參數,然後計算機將自動加載該任務的所有必要設置和參數。這使得這一過程對用戶來說更快、更容易。除此之外，這臺機器還具有許多其他功能，可以確保植入的最高質量。這些包括溫度和壓力控制等特點，以及利用廣泛的診斷儀器監測植入行為的能力。總體而言,EATON NOVA 6200是一款非常先進的機器,它結合了高質量的植入和用戶友好的操作。適合於低容量和高容量晶片生產，意味著它將滿足廣泛制造商的需求和需求。