二手 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #293752727 待售

EATON NOVA/AXCELIS 6200是一款高性能的離子植入器和顯示器。它設計用於離子束加工的大批量生產，廣泛應用於半導體制造、汽車、航空航天、醫療等行業。AXCELIS 6200是一個完全獨立的設備，由離子槍、高壓電源、波束線監視器和控制系統四個主要部件組成。離子槍由高壓電源供電，使離子加速到其工作能量。光束線監測器測量離子束的精確參數，以便精確操作和反饋到控制單元。EATON NOVA 6200能夠在直徑不超過6英寸、長度不超過12英寸的晶片上進行離子植入。它能夠在每米300萬伏特的能量下進行離子植入，光束電流從20到10,000納米團。它還能夠同時植入正離子和負離子，以及其他多種離子，包括B 11、Gaif、O2+、N2+、P2+和Ar+。6200提供了光束幾何形狀、光束能量、光束電流和劑量方面的極限精度。它還提供了極為均勻的光束輪廓和穿孔,而無需使用掩模。而且，該機能夠以極好的重復性進行快速處理，提供高水平的生產率和準確性。EATON NOVA/AXCELIS 6200還帶有內置的安全功能，如Visual Alarm Tool （VAS）、用於保護故障的數字互鎖以及先進的HV電源和光束監視器保護系統。這樣可以確保資產在任何時候都能安全運行。AXCELIS 6200是對先進、可靠、可靠的機器性能進行高效操作和控制的理想選擇。它在易於使用和經濟實惠的軟件包中提供卓越的性能、準確性和靈活性。