二手 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #9182215 待售

EATON NOVA/AXCELIS 6200離子植入器和監控器是一種高性能、最先進的離子植入設備。它結合了領先的技術和多年的經驗,提供了最佳的性能、安全性和可靠性。該系統的源技術支持廣泛的植入能量和高劑量。該源是基於墨盒的，有可更換抽屜加載的crucibles和空腔源，並設計為易於維護。掃描儀使用電磁場，可以精確控制植入物的方向和大小。其設計保證了均勻的劑量分布和線邊和柵格區域的控制。AXCELIS 6200允許最多四個不同的劑量和植入物角度。用安裝在掃描儀旋轉軸上的光學編碼器監測所產生的植入模式。此單元允許以1.3度的精度監視植入角。該機還包括一個用於精確控制進氣流量的高性能質量流控制器和一個在功率波動時保持過程穩定性的穿越動力特性。EATON NOVA 6200機器配備了先進的晶圓溫度控制工具，以確保晶圓上的溫度均勻，減少過熱對敏感設備造成的損壞。它包括自動和手動晶圓分選功能。6200機器包括功能強大的診斷工具和圖形用戶界面,可幫助診斷問題和故障排除。它還包括先進的實時資產監測，確保該模型始終以安全和可靠的方式運作。EATON NOVA/AXCELIS 6200具有高端性能和先進的設備監控功能,為當今要求苛刻的離子植入應用提供了理想的解決方案。