二手 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #9257995 待售
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EATON NOVA/AXCELIS 6200是由Eaton Machines生產的離子植入器和顯示器的中檔型號。AXCELIS 6200設計用於半導體工業的高速生產。是中程離子植入、植入過程監測的理想選擇。EATON NOVA 6200是一款堅固高效的機器,旨在提供精確準確的植入物。它能夠與硼、磷、砷、刊物或其他離子植入陽極側、陰極側、共聚和自偏。這允許高水平的植入物控制和精確的離子劑量植入。它還能夠實現廣泛的植入速度,以便最有效地產生所需水平的離子植入。6200配備了幾個監控系統,確保所有參數保持在公差範圍內。例如,系統監視光束電流、能級、腔室溫度和系統可調性。它還具有各種自動化過程,有助於確保植入正確。EATON NOVA/AXCELIS 6200配備了能精確註入所需離子的高精度自動化系統。它有一個可定制的離子植入設置,用於各種類型的底物和離子。這樣可以確保每次植入都能完美地完成。AXCELIS 6200也是出於安全考慮而設計的。它配備了幾種旨在保護操作員和人員的功能。該機器擁有最新的安全裝置,如劑量監測儀,以持續監測植入劑量和保護人員免受有害水平的輻射。它還具有其他幾個安全功能,包括真空鎖和電源關閉,以防止機器意外操作。總體而言,EATON NOVA 6200是一款可靠高效的中端離子植入器和顯示器。它旨在提供精確的植入物和監控,實現中程離子植入。它還具有高度自動化,並配備了多種有助於保護人員的安全功能。6200是任何尋找高效生產中程離子植入物的半導體生產線的理想選擇。
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