二手 EATON NOVA / AXCELIS 6200A #293778284 待售

EATON NOVA/AXCELIS 6200A Ion Implanter&Monitor是為半導體行業的性能和精度而設計的最先進的設備。這種高端系統允許在各種各樣的基質上進行先進而精確的離子植入和監測過程。利用先進的離子光學和高精度光束掃描，該裝置能夠精確控制植入的雜質濃度和摻雜輪廓形狀，這對於先進的集成電路設計是必不可少的。AXCELIS 6200A Ion Implanter&Monitor包括一個計算機化的光束控制機,它為現代電路制造提供了未來就緒的離子植入器和監控能力。該控制工具包括差動泵送、磁聚焦等高性能光束傳輸光學器件，以及采用真空絕緣導軌（VIG）技術的封閉式法拉第籠技術。光束電流在1%的精度範圍內連續監控。這種反饋降低了光束的不穩定性，在整個基板上產生一致的均勻植入。EATON NOVA 6200A資產配備了強大的可編程光束掃描和動態光束掃描，以完全控制離子註入和摻雜輪廓。車載智能掃描優化功能可優化掃描性能,決定掃描速度、LDEP和加速電壓。動態光束掃描通過管理植入過程中不穩定的光束偏轉進一步縮短了完成時間。該機為環境控制，提供全面的安全系統。其中包括一個完全封閉的帶有準直器入口、用戶互鎖系統和蝕刻系統的腔室。高強度電子槍偏轉器也可用於植入大的植入物區域。6200A模型為先進的IC生產提供了一個安全可靠的平臺。EATON NOVA/AXCELIS 6200A Ion Implanter&Monitor的設計考慮了用戶友好性。軟件包中包含了由行業領先的開發人員設計的、具有幾年直接半導體制造經驗的軟件。通過隨附的通用控制GUI,操作員可以快速輕松地創建和管理新配方。為了實現可靠的維護和標準化,AXCELIS 6200A設備提供了全面的遠程維護功能。使用內置軟件,技術人員可以遠程配置系統、查看參數並排除連接到網絡的任何設備的任何潛在問題。此外,還提供了一個可選的可移動機器人機械手,用於擴展維護功能。綜上所述，EATON NOVA 6200A Ion Implanter&Monitor是一個先進的離子植入器和顯示器設備，用於先進和精確的IC生產。擁有先進的控制監控系統、動態光束掃描、直觀的用戶界面，6200A機是現代半導體產業不可或缺的工具。