二手 EATON NOVA / AXCELIS 8200 #293636664 待售

AXCELIS/Accelis EATON NOVA/AXCELIS 8200是一款精密的中端離子植入器和監視器，旨在將離子精確植入各種材料中。AXCELIS 8200系列，是先前伊頓光譜、Essenza和Celesta系統的後繼產品，特別適合於將離子植入矽、砷和砷等半導體材料中，用於各種工業應用。具有高精度、低壓力、低汙染氣線、自對準離子束散射均勻性、植入離子種類廣泛等特點。EATON NOVA/Accelis EATON NOVA 8200具有高度可靠的多功能集成控制設備,可讓用戶快速、精確地設置和調整最佳的離子植入參數。完全自動化，系統可以編程為植入離子和相關條件的任意組合，不需要人工實驗，最大限度地減少操作員時間。這個集成的控制單元能夠同時處理多達80個離子，使用戶能夠輕松地快速準確地修改設置。EATON NOVA/AXCELIS/Accelis 8200堅持復合單元的國際標準，在適應離子束時允許更大的靈活性。該機采用高精度、低排放真空工具，可減少腔室汙染，並在植入不同來源的離子時具有更高的通量。此外，設計還結合了獨特的粒子束界面，允許可調節的旋轉和彎曲離子束，允許用戶定制束的大小、輪廓和角度。AXCELIS/Accelis EATON NOVA/AXCELIS 8200系列還包括各種先進的監控系統，如光束光學、光束均勻性、溫度、輪廓映射和光束電流測量等，使用戶能夠在離子植入過程中保持標簽。此外,資產還包含一個自動校正例程,可根據離子束方向的變化自動重新校準和優化,從而消除手動幹預。總之,EATON NOVA/Accelis AXCELIS 8200是一款精密可靠的離子植入器和顯示器,具有精確度、多功能性和準確性。它的集成控制模型允許輕松調整，而其先進的監控系統則促進了平穩、高效的植入過程。EATON NOVA/AXCELIS/Accelis EATON NOVA 8200憑借其先進的功能，是植入應用的理想選擇。