二手 EATON NOVA / AXCELIS 8250 #9187098 待售

EATON NOVA/AXCELIS 8250是一種高度先進的離子植入器和顯示器，用於半導體器件制造。它專為最高級別的流程一致性而設計,提供卓越的凈設備性能和產量。AXCELIS 8250結合了三軸掃描機構和先進的計算機控制光束電壓剖面發生器，在植入N型和P型摻雜劑方面都具有卓越的精度。EATON NOVA 8250的離子源能夠輸送高達150毫安的離子束電流，束能量在10到700 keV之間。用戶可配置的光束電流、光束能量和掃描區域設置允許高度定制植入物,而無需額外硬件。這項先進的技術使得8250成為新晶片和現有晶片摻雜的絕佳選擇。集成工藝監控設備可以連續分析植入晶片的特性，包括劑量、束角、傾斜度、總電流、電壓、輪廓位移和摻雜水平。這些先進的測量結果使EATON NOVA/AXCELIS 8250能夠以難以置信的精確摻雜輪廓提供植入物,並具有非常特殊的特性,從而產生卓越的設備。該系統還具有獨特的熱成像傳感器技術，有助於驗證植入過程中的最佳整體晶圓溫度。AXCELIS 8250先進的計算機控制器單元有助於快速、一致地安裝和操作植入器。用戶友好的界面允許簡單的操作，可定制的參數可以很容易地輸入並保存在機器中以備將來使用。方便的遠程維護功能和出色的操作後診斷,使該工具隨時間推移易於維護。EATON NOVA 8250是一款先進的離子植入器和顯示器，旨在提供卓越的精度和均勻的裝置植入物。這種多用途、用戶友好的資產能夠快速、準確地傳遞受控的離子束電流、束能量和掃描區域，以獲得最佳的摻雜水平和設備性能。8250以其強大的監控模型,以卓越的精確度和產量提供植入物。