二手 EATON NOVA / AXCELIS 8250HT #9410494 待售
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ID: 9410494
Implanter
Beamline and endstation
(2) Valves
Higher maintenance flexibility
Enhanced ELS Ion source:
Common with MC3, HE, HE3
Active Vaporizer Cooling (AVC)
Source lifetime: > 400 Hours
3-Axis extraction electrode:
Extraction voltage: 15 kV - 40kV
Water cooled
Water cooled: 90°
Mass analysis Magnet
Closed-loop AMU controller
(2) Vaporizers
High temperature
AVC Temperature
Auto tune beam current target
Achieving desired energy
Beam scanning and beam correction
Electrostatic angle correction
Beam parallelism measurement
Exceptional beam parallelism
Angular Energy Filter (AEF)
Dosimetry system and charge control
Secondary electron shower
Electrostatic clamping
In-air wafer handling
In-vac wafer scanning
Wafer handling sequence
Control system
Uniformity and repeatability
Proven control system.
EATON NOVA/AXCELIS 8250HT是一種復雜的離子植入器和監測器，用於復雜的半導體制造應用。它是一種精密加工材料的工具，能夠分析、調節和控制高純度、精密材料的生產過程。其脈寬大、處理時間短，是高功率離子植入的有效解決方案。AXCELIS 8250HT利用高科技加速器、電源和過程控制系統的組合,使生產保持最佳運行狀態。它配備了多種功能，旨在提高生產力、準確性和安全性。其柔性蓄電池設備（FAS）可以快速掃描晶圓或太陽能電池，以確保其準確性和減少誤差。其編程數字控制系統（PDC）用於精確控制工藝參數，以確保盡可能高的純度和性能。它還包括一個Intact/Darkside Auto-Analysis （IDAA）單元,用於分析、隔離和調整參數設置以優化結果。除了自動化功能外，EATON NOVA 8250 HT還為運營商提供了一套監控工具。其圖形用戶界面（GUI）提供了一種簡單直觀的方法來管理流程並根據需要進行調整。它的遠程診斷機器（RDS）用於診斷、診斷和微調工具中的任何故障或不一致。其質量映射技術可以準確檢測和分析植入對晶圓或太陽能電池不同位置的影響。最後,它的User-Switchable Stage提供了在不同植入條件之間快速切換的可能性,以確保高效的過程而不會丟失任何數據。總之，EATON NOVA 8250HT是一個先進和創新的離子植入器和監視器，具有多種功能，旨在提高工藝精度、速度和安全性。其通用、全面的控制使其成為專業半導體制造應用的理想解決方案。
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