二手 EATON NOVA / AXCELIS Al Disk for GSD #293655848 待售

EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSD是一種最先進的離子植入器和顯示器,專為半導體制造行業的應用而設計。該設備集成了數字離子監控器、微型離子植入器和大面積數字檢測器，為可靠、經濟高效的過程控制提供材料輪廓信息。該監視器的設計允許最高質量的光束輪廓控制，確保一個幹凈和準確的植入。該系統利用質量範圍測量（MRM）和串聯電離（TI）技術，能夠根據離子的質量和電荷分布檢測和監測離子。另外，離子植入器裝有一個電磁體以維持離子的均勻分布，以及一個高脈沖激光器以防止晶圓汙染。使用AXCELIS Al Disk for GSD,用戶可以訪問易於使用的圖形用戶界面,從而實現設備的無縫直觀操作。此外,該機器還包含一個數字成像傳感器,該傳感器連接到成像檢測器,用於優化過程監控。EATON NOVA Al Disk for GSD的設計提供了最大的使用靈活性和吞吐量。利用板載控制器的組合,該工具能夠改變工作頻率、控制脈沖速率和監控溫度以實現最佳操作。而且，該資產具有可調的植入深度、廣泛的植入角度以及為不同植入材料和應用而設計的植入配置。除了性能外，Al Disk for GSD還具有先進的用戶保護功能，包括實時觀察（包括警報和通知）和遠程監控功能。AlDisk電極表面處理（ATES）設備進一步補充了這一模型，該設備有助於防止電極表面退化。總體而言,EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSD是一款最先進的離子植入器和顯示器,具有前沿功能,可提供可靠且經濟高效的過程控制。它旨在通過用戶保護功能和性能功能提供靈活而準確的植入,從而實現最大的使用靈活性和吞吐量。憑借其先進的數字成像傳感器，用戶可以確保實現植入的最高質量。