二手 EATON NOVA / AXCELIS C-6000 #9248477 待售

EATON NOVA/AXCELIS C-6000是一種專門的離子植入器和監控設備。它被設計用來精確塗料半導體晶片和集成電路（IC）基板使用加速離子，提高精度和速度。該系統采用先進的離子噴槍進行植入過程，並采用高分辨率傳感器對植入過程進行精確監測。AXCELIS C-6000由一個雙軸龍門單元組成，該單元使用直線電動機進行離子源和晶圓的超精確移動，以確保在X和Y平面中的正確定位。電機控制是可編程的,允許精確植入所需的摻雜劑輪廓.離子源，典型的考夫曼離子源，用於高能離子植入應用。考夫曼源提供了廣泛的離子種類，允許在基質上的柔性植入型材。EATON NOVA C-6000利用高分辨率法拉第杯監測機對興奮劑過程進行精確監測和控制。這種法拉第杯工具可以讓加速離子的速度被精確測量和即時控制。植入劑量的實時信息可以從法拉第杯中獲取，允許更精確準確的過程控制。除了法拉第杯外，C-6000還配備了先進的電阻監測儀，用於劑量的測定和控制。該模型使用一組四個並行探測器實時監測植入劑量。通過將探測器的讀數與預設值進行比較，可以很容易地監測和控制適當的植入。EATON NOVA/AXCELIS C-6000包括一個先進的真空設備，其設計目的是能夠有效地利用離子束能量進行植入過程。采用最先進的渦輪分子泵，充分選擇泵送管路和高有效泵送速度，確保了穩定的真空環境。該系統旨在使植入活動能夠在較低的壓力下進行，從而顯著提高植入過程的可預測性和準確性。AXCELIS C-6000是一個先進的離子植入器和監控單元，允許半導體晶圓和IC基板的精確和高速摻雜。它采用先進的離子槍、高精度的法拉第杯監測機，以及先進的電阻監測儀，用於精確的劑量控制。此外，先進的真空資產確保有效利用離子束，以提供所需摻雜水平的準確植入。