二手 EATON NOVA / AXCELIS Conversion kit for GSD 200 #293663564 待售

ID: 293663564
晶圓大小: 8"
8" Disc assy included.
EATON NOVA/AXCELIS Conversion kit for GSD 200 is a ion implanter and monitor equipment designed to more countor and measure GaAs process parameters in a single system.GSD 200能夠為各種類型的GaAs設備(無論是HBT、PHEMT還是LED/LD結構)提供優化的設備性能。該裝置提高了植入的準確性和可靠性,並監測和控制了工藝參數。利用這臺機器,處理器能夠監測離子植入器的電壓、電流、束發射電流,以及收集和分析電荷收集效率、瞬時劑量率、束穿透深度等重要特性,進行更全面的植入物性能評價。此外,GSD 200收集的數據包有助於校正植入參數,以確保植入輪廓一致。GSD 200的用戶界面被設計為用戶友好、簡單,允許操作員輕松輸入命令,而圖形顯示監視器則幫助用戶查看關鍵參數設置以精確植入區域。將此工具設置為滿足最佳的特定工藝參數可以通過一個廣泛的參數庫進行指導,鼓勵為受控、高效和可靠的平面晶片工藝定制植入特性。此外,GSD 200支持廣泛的電源,允許離子植入能量的快速切換。這一資產還為用戶提供了一種獨特的能譜移位功能,可用於補償特定範圍內的能量移位系數。這是一個非常有用和有價值的特性,因為它有助於提供均勻的植入輪廓和更好的可重復性,即使在植入電壓發生微小的變化。AXCELIS Conversion Kit for GSD 200 Ion Implanter and Monitor是卓越的低成本解決方案,可用於出色的GaAs監控和分析。它提供可靠的植入性能,並確保一致的植入輪廓,為用戶提供精確植入的保證。此外,它易於使用的界面既方便用戶又高效,為用戶提供完全的植入參數控制,以優化性能。
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