二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 100 #9103072 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD 100是專門為半導體工業設計的離子植入器和監視器。它是一款高性能的設備，融合了多種高級功能，提供了高水平的準確性、可靠性和靈活性。AXCELIS GSD 100基於單級平臺、多層設計和離子源系統。該單元設計用於容納不同類型的離子，具有更大範圍的源能量和能量。利用高壓源和增強的拉格朗日磁場均質以及具有獨立控制磁場的光束均質機。離子源和加速工具可以單獨使用，也可以組合在混合配置中用於更高的光束電流。監測資產由一系列集成組件組成，包括GSD主板、真空控制單元、光束監視器、電壓表/萬用表和軟件包。GSD主板負責按照用戶規格控制梁和環境參數，使用一系列閥門控制氣體成分。真空控制單元允許維持適當的腔室壓力和串擾控制。光束監視器負責監測光束對目標的強度和電流、旋轉角度和能量水平。最後，Voltmeters/Multimeters負責測量植入過程中目標的溫度、壓力和電流。這些軟件包用於GSDMainBoard、真空控制單元和光束監視器的操作,以及與其他系統的接口。該軟件包括一個集成了參數配置更改的專家模型以及一個GUI/CLI界面。EATON NOVA GSD 100還包括一個可用於業務自動化的定制可編程邏輯控制器（PLC）。憑借其先進的功能，GSD 100可用於廣泛的應用。用於將摻雜原子植入半導體，用於通信、汽車、航空航天、軍事等多個行業。該設備還用於薄膜晶體管（TFT）的制造以及矽片的蝕刻和清洗。EATON NOVA/AXCELIS GSD 100是一個可靠的系統，在植入過程的控制和監測中提供高精度。它為不同類型的流程提供了高度的靈活性,增強了安全功能,並為自定義自動化流程提供了可編程平臺。