二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200 #9132020 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200是最先進的離子植入器&監視器。它是市場上最先進的植入物，專為快速精確的受控將摻雜離子植入底物而設計。它提供了多種工藝控制選項，如劑量率、能量範圍和離子種類選擇，使其成為制造和生產半導體和光電器件的理想選擇。AXCELIS GSD 200專為中大規模生產而設計，采用嚴格的自動控制，確保精確植入晶圓。EATON NOVA GSD 200在單個系統中結合了最佳的手動和自動化過程,以實現卓越的晶圓覆蓋範圍和產量。它擁有一個全自動平臺，以及一個用戶友好的觸摸屏界面，用戶可以方便地監控和控制興奮劑處理過程。系統能達到+/-0.2%的光束電流精度，光束能量精度達到+/-0.5%。GSD 200還有一個自動的劑量、能量和通量速率調整，允許一個準確和可重復的植入過程。其先進的晶片掃描儀可以準確定位基板進行植入，而數字成像儀和雙相機則提供完整晶片表面的詳細參考圖像。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200還配備了大量的安全功能，包括在緊急情況下全自動關閉。先進的電源系統優化了電源的利用率,提高了效率.總之,AXCELIS GSD 200是優化離子註入的絕佳解決方案.它配備了最新的特性和技術，以創造最一致和可重復的植入過程。憑借其安全特性和用戶友好的界面，它是各種應用的理想選擇。