二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200 #9399024 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200是半導體行業的一款高性能離子植入器，提供了高度精確、高質量的植入工藝。AXCELIS GSD 200利用強大的離子源，以較高的控制度將摻雜劑引入底物材料。這樣可以確保摻雜劑以必要的精確度和所需的比率沈積在基板層中。EATON NOVA GSD 200是為了極致自動化和成本效益而打造的，以「直接基板增加」（Direct Substrate Increase，簡稱DSI）技術，可以快速增加離子源，讓植入劑的劑量更快、更一致。GSD 200的先進設備監視離子束電流，允許精確準確的劑量控制。該系統的設計目的是將離子含量最高的大量底物厚度處理到最大數量的底物上。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200是一種高度可靠、耐用的設備,使用壽命長。它設計用於精確控制離子源，並保證在基板上保持一致的光束，無論厚度如何。此外，一個專利的磁通量監測機器允許最佳性能等離子體清洗基板表面。高質量的濺射可以確保底物上的天然氧化物被清除，並且該層可以接受被引入的離子滴。AXCELIS GSD 200工具的物理構圖具有最先進的設計特點。擁有專利、圓盤形環源技術、強健有力的高離子電流電子槍，以方位角掃描和植入光束垂直剖面的形式進行先進的X射線診斷，以及一整套確保精度的先進控制系統。EATON NOVA GSD 200能夠同時植入多達8個離子，並提供精確的對準，以確保輪廓保真度。總體而言，GSD 200是一種優質的植入資產，旨在提供半導體行業中最準確、最具成本效益的植入工藝。其先進的離子源、廣泛的底物厚度和一致的光束控制相結合，使其成為任何植入過程的理想選擇。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200的最先進的設計和較長的使用壽命使其成為生產線的關鍵資產。