二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293597564 待售

ID: 293597564
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Medium current implanter, 8" 2004 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2離子植入器和監控器是一種工業級植入器/監控設備,能夠在廣泛的能量範圍內輸送精確劑量的植入離子。它能夠植入能量範圍從1meV到10keV的離子,其範圍比大多數其他系統要廣泛得多。Eaton具有高度的可靠性和安全性,非常適合需要精密離子植入和監控的應用。Eaton AXCELIS GSD 200E-2采用強大的能量分析儀設計,使其能夠精確計算每一個植入的離子束的能量。分析儀的工作原理是測量一束離子束的載流電阻,使系統能夠確定其精確的能級。此外,EATON NOVA GSD 200 E2還配備了離子束電流監測器,可在運行過程中連續測量離子束電流。這允許用戶監控和調整電流,以便優化離子植入的過程。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E-2具有先進的光束穩定裝置,可確保目標植入深度的光束傳遞一致可靠。該機利用一系列磁體創造出均勻的離子束形狀,確保了植入離子的均勻性得到改善。此外,該工具能夠自動校正因環境或材料變化而可能發生的工藝偏差,保持一致的劑量控制。AXCELIS GSD 200E2還配備了一個高性能的機器人晶片處理程序,使其能夠快速準確地處理晶片。該機器人設計用於高速移動晶片,最高可達30個芯片/分鐘,最大限度地減少加工時間,提高吞吐量。此外,機器人還配備了自動對準資產,可確保離子束在指定的植入位置自動對準,從而使用戶能夠獲得可重復的結果。總體而言,AXCELIS GSD 200 E2是一種可靠準確的離子植入器和監控器,可以處理廣泛的植入能量。它的高級功能使用戶能夠在所需深度獲得精確劑量的植入離子,並且可以被信任地提供一致的、可重復的結果。Eaton Eaton NOVA GSD 200E2具有很高的可靠性、安全性和效率,是任何需要精確離子植入和監測的應用的絕佳選擇。
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