二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293801979 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2是為半導體及相關應用而設計的高劑量高效離子植入器和監視器。它是一種多光束、多孔徑離子源，能夠實現亞微米特征尺寸的高精度、可重復摻雜。它提供了比常規植入物高10倍的劑量率和大於過程均勻性的5倍。AXCELIS GSD 200E-2采用AXCELIS專利的電子折射光束光學設備，以高精度和重復性提供卓越的植入物均勻性。該系統接合來自多個不同方向的電子束，以提供跨樣本量更均勻的均勻劑量場。它還使用先進的磁場單元進行均勻的束能量分布（BED）。EATON NOVA GSD 200 E2是一種高精度植入器，能夠以最小± 2.5%的相對峰值劑量均勻度和10mm x 10mm的短光束窗口植入。它具有高達150 mm x 150 mm（可選200 mm x 200 mm）的標準工藝窗口。它還可以配置為最多使用5個光束,並且最高可運行50kV個光束。機載監控機使操作員能夠監控植入進度。現有各種診斷工具，如實時繪制光束位置和焦點不對稱圖、光束電流和能量監測。此外，最多可以將四個外部攝像機和射頻探測器連接到機器上，以檢測任何異常或不規則性。AXCELIS GSD 200 E2還提供了廣泛的安全功能,例如自動安全關閉工具,在發生故障時可以安全地禁用機器。此外,還會記錄所有用戶輸入和機器設置,以供將來參考。這確保了未來應用程序的精確和可重復安裝。總體而言，GSD 200 E2是半導體應用的理想離子植入器和監控工具。其高劑量率、精確和可重復的過程、全面的監測資產和先進的安全特性確保了亞微米特性尺寸的可靠和安全的摻雜。