二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293814956 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2是一種離子植入器和監視器,可用於半導體器件制造的精確離子植入和監視器控制。該設備具有高溫集成離子源、高真空束傳輸、兩個超高靈敏度傳感器和集成多束互鎖（MBI）系統。這種離子植入器的設計方便了半導體器件的精確可靠的生產，非常適合微電子和宏觀電子器件的大批量生產以及研發。AXCELIS GSD 200E-2離子植入器和顯示器提供高效、精確和可靠的生產與廣泛的可用植入設置。它利用高溫集成離子源，可將包括硼、磷、砷和其他摻雜劑在內的各種離子加速至高能，同時在各種劑量下保持其最佳能量。這促進了廣泛的應用，如結點深度或淺結點的精確植入，摻雜元素的精確和精確混合，以及載體的精確和精確混合。離子植入器和監視器具有兩個超高靈敏度傳感器,即「TRIO」和「Quadrate」,可精確感測和控制光束的位置、大小和能量。這兩個傳感器提供了卓越的分辨率和準確性，即使暴露在高能粒子，同時對焊接輻射的抵抗力。集成的MBI單元確保所有植入步驟，如光束焦平面對準和穩定，以一致和可重復的方式進行，確保出色和可靠的設備性能。EATON NOVA GSD 200 E2提供全面的數據采集功能,允許對光束進行通用分析和記錄,並對植入參數進行分析和報告。它還具有自動化過程控制機器和自動反饋控制功能，可實現高效、準確和可重現的植入過程。該工具還提供診斷和報告功能,以及集成的開關和電源控制。總體而言,EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E-2離子植入器和監視器是生產半導體器件的絕佳且用途廣泛的資產。它提供高效、精確和可靠的植入過程，具有廣泛的可用設置。它也具有很高的可靠性和耐用性，能夠處理各種各樣的不同離子。因此，AXCELIS GSD 200 E2是制造微電子和宏觀電子器件的理想選擇。