二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293815735 待售
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EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2是一種高性能的離子植入器和監視器。它專為低能量植入物操作而設計,具有高達4千瓦光束電流的高能量操作能力。該機配備了大量的控制系統和算法,以確保植入材料的精度和準確性。AXCELIS GSD 200E-2配備了多軸行進離子束(TIB)組件,可快速、高精度地掃描晶圓表面並將離子植入目標材料。該系統可以數字化操作,提供非常準確和均勻的劑量,具有高劑量穩定性和重復性。通過主動束電流控制和穩定器進一步增強離子束,確保最大精度。EATON NOVA GSD 200 E2是一個用戶友好型系統,具有圖形用戶界面(GUI),提供進程參數和數據的實時顯示。這樣可以方便地監測和調整植入過程。此外,機器還配備了保護用戶、設備和被植入產品的大量安全功能。GSD 200 E2還配備了一系列質量控制選項,包括橫截面離子束掃描顯微鏡、光譜分析、能量和地形測量。這套選項對於優化機器所提供結果的質量以及對植入樣品的質量保證和監測非常重要。總體而言,AXCELIS GSD 200 E2是一個強大而有效的工具,用於低能量和高能離子的植入和監測。其高功率輸出和質量控制特性使其成為工業加工應用的理想選擇。其用戶友好的GUI和安全功能提供了一系列安全可靠的選項,可以優化離子植入過程並提高一系列材料的準確性、均勻性和可重復性。
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