二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD Classic #9243444 待售
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ID: 9243444
晶圓大小: 5"
優質的: 1996
High current ion implanter, 5"
Gas options:
Gas1: PH3 SDS
Gas2: ASH3 SDS
Gas3: BF3 SDS
Gas4: AR HP
Ion source: Bernas ion source (No vaporizer assembly)
S Control DI
Filament PS
Arc PS
Extraction HVPS
Suppression PS
Terminal PD DI
Analyzer magnet PS
Source magnet PS
TC Control DI
Gaussmeter / Probe
High voltage stack
EBARA AA10 Source rough pump
Accel HVPS
Accel supression
Accel HV stack
Robot control DI
Wafer transfer
Loadlock controller
Electron shower PS
Electron shower assembly
Cryo pumps (P2,9): (2) CTI Torr 8 and (2) Torr 10
Cryo compressors: CTI (2) 8200 and (2) 9600
EBARA AA70 Roughing pump (RP2)
CELL 133 Cell controller
(4) Cassette tables
Load buffer
Vacuum cassette
Dummy buffer
Cassette stand
LCD Monitor
Sun workstation
Rotary drive motor: Belt drive
Rotary drive DI
HCIG Controller
Flat aligner
Main power: 50 kVA, 208 V, 3-Phase, 5-Wire, 50 Hz
1996 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD Classic離子植入器和監視器是一種設計用於將離子植入半導體材料的高性能掃描設備。這種強大而嚴格的裝置利用電子捕獲（ECD）技術，精確控制正在植入半導體材料中的離子的劑量和濃度。準確到0.1%以內,確保對材料進行適當處理以用於預期的應用。AXCELIS GSD Classic顯示器具有32位彩色液晶觸摸屏,便於查看數據。圖形用戶界面（GUI）設計方便；它的用戶友好菜單提供對設置的快速訪問,並允許操作員自定義監控過程以滿足其特定需求。該設備具有可移動存儲設備,便於數據管理。EATON NOVA GSD Classic離子植入器和顯示器是為低維護操作和高效操作而設計的。該裝置配有高性能加速器，能夠在傳統程序所需時間的一小部分內進行精確的植入操作。它的設計也是為了安全起見，設有防輻射外殼和詳細的振動監測系統，提醒操作員註意任何過大的噪音或溫度峰值。GSD Classic離子植入器和監視器是目前市場上最先進的同類系統之一。對於需要精確度、速度和可靠性的半導體公司和實驗室來說，這是一個極好的選擇。高質量的組件和可靠的性能使其成為幾乎任何項目的寶貴工具。
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