二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD-HE #9262470 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD-HE是一種離子植入器&監控器，用於將電離粒子植入/濺射到基板中，用於半導體、MEMS和其他電子器件制造等各種應用。它將Eaton和AXCELIS的最佳功能結合在一個通用且高效的單元中。AXCELIS GSD HE利用電磁透鏡將電離粒子精確輸送到基板上。這使得該單元在精確輸送離子的同時，還能控制其能級。它還使用6級高壓進料，將離子劑量配置和控制到特定的應用要求。該裝置采用操縱桿控制器和3級顯示設備，易於控制植入物和監控參數。EATON NOVA GSD/HE提供了多種功能,可確保最佳性能,如用於優化溫度穩定性的溫度控制真空系統、用於微調角度調整的入射角（AOI）單元,以及一系列離子源配置可根據應用進行選擇。其他功能包括離子電流監視器、離子能量監視器、底物溫度監視器、氧氣傳感器和光束位置對準機。此外，EATON NOVA/AXCELIS GSD/HE設計了一個尖端的血漿控制工具，以最大程度的植入均勻性和重現性。它還具有註氣資產以達到最佳真空條件，以及多通道信號處理器以監測各種參數和優化工藝效率。為了確保連續和一致的過程，EATON NOVA GSD HE配備了多種電路，包括一個計算機化的數據采集模型、一個電源、一個電源監視器和一個脈沖高度分析儀，可以檢測粒子速度和能量信息。總體而言，EATON NOVA GSD-HE是一個可靠且用途廣泛的裝置，在植入/濺射時提供精確度和準確性。它是從半導體制造到MEMS到其他電子器件制造等應用的理想選擇。GSD-HE具有強大的功能,可提高產品的生產效率、效率和統一性。