二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD UHD #9094928 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD是由Eaton Corp. AXCELIS GSD UHD開發的一款超高劑量離子植入器/監視器，建立在Eaton創新、經驗證的高電流源技術之上，提供業界最大離子束電流和劑量生產率。EATON NOVA GSD UHD兼具離子植入器和監視器，為低能量和高能量植入物提供經濟高效的解決方案。GSD UHD可以精確控制高能離子植入的劑量、電流、束輪廓。這允許用戶精確定制離子植入過程，以滿足當前設備技術的嚴格要求。EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD監視器以高度精確的離子束電流讀數，以及其位置，連續監控植入條件。結合了AXCELIS GSD UHD植入器和監控系統，為用戶提供了盡可能準確的植入參數控制。EATON NOVA GSD UHD離子植入器配備了革命性的高電流源，在離子能量上提供高達1mA和更大的光束電流能力3keV。這樣可以精確、精確地處理各種具有最高精度和可重復性的基板和設備。GSD UHD植入器還具有廣泛的氣體和端站選項，允許用戶進行電子束熱處理，混合氮化物和氧化物薄膜堆棧，並將基板退火。EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD顯示器通過其內置的高分辨率多通道信號處理器,為用戶提供對關鍵處理參數的實時訪問。這允許用戶在植入過程中精確控制光束電流、光束輪廓和光束能量。它還為用戶提供重要信息，如劑量均勻性、總劑量和離子電流，用於植入物參數的事後分析。AXCELIS GSD UHD離子植入器和監控系統為用戶提供了市場上最可靠、最精確的離子植入性能，為當今最先進的處理要求提供了經濟高效的解決方案。憑借其強大的功能集，EATON NOVA GSD UHD代表了最好的inan植入器和監控系統。