二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9103073 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD是由Eaton AXCELIS Pte創建的離子植入器和監控設備。Ltd.這套系統是專門為了將硼、磷、砷等高能離子植入各種應用的材料而設計的，例如半導體製造和先進的材料加工。它能夠施加高達7 mesaVolt的植入物能量，並支持一系列直徑可達14英寸的基材。該裝置采用直接氣體替換機，提高了離子束的穩定性和均勻性。AXCELIS GSD提供了一組強大的功能來增強用戶的工作能力。它包括一個氣流輸送工具，利用雙離子源配置為兩個離子物種。這允許用戶獨立控制離子的數量，以提高光束的均勻性和質量。該裝置配備了先進的監控功能，如四通道離子源溫度控制和光束定位，從而能夠更嚴格地控制光束參數。還提供了保護性歧管，以幫助避免樣品過度電離。該資產還具有自動光束定心和閃爍模型，有助於進一步提高離子束的均勻性。該設備還具有具有會話軟件的功能齊全的數據采集系統，使用戶能夠準確監控植入過程參數並根據需要進行調整。此外，該單元還有一個集成的數字信號處理機器，可以幫助盡量減少樣品持續電離或與機器有關的錯誤和不規則性。最後，所配備的掃描電子顯微鏡使用戶能夠觀察光束和基體以及植入過程的影響。EATON NOVA GSD是一種高度先進、可靠且用途廣泛的離子植入和監測工具。它的雙離子源配置、自動波束定心和閃爍、數據采集以及數字信號處理系統為用戶提供了對植入過程無與倫比的控制。此外,保護歧管、集成掃描電子顯微鏡以及四通道離子源溫度控制和光束定位為用戶的植入工作提供了更高的安全性和準確性。綜上所述，GSD是尋找先進離子註入和監測資產的理想選擇。