二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9115127 待售

ID: 9115127
Main drives, 8" Part no. 1193490.
EATON NOVA/AXCELIS GSD是一種離子植入器和監視器,用於將離子植入基材中。它由一個離子源和一個底物材料放置和植入的末端組成。離子植入過程通過向材料中的分子引入電荷,以及潛在地向基材中引入材料元素和化合物來改變基材的性質。AXCELIS GSD使用熱蒸發器、電弧源和鈦升華器的組合作為離子源,以及氫中性質譜儀來檢測和監測植入樣品材料中的離子。植入區的直徑可以利用構型控制特性來控制,以提供離子在整個基材上的均勻植入。EATON NOVA GSD還有一個擴展的控制設備,允許遠程控制植入參數。這允許操作員從遠程位置密切監視進程。控制系統還提供離子束的精確控制,以確保植入參數的精度。除了延長控制單元外,GSD還包括安全功能,如用於在植入過程中保證安全氣氛的空調機。該工具還降低了基材被汙染的風險,為植入過程提供了最佳環境。EATON NOVA/AXCELIS GSD已被用於半導體工業中,以改變製造過程中所使用的基材的性質。它也被用於醫療和航天工業中,將離子植入材料中,以增強強度或引入電或隔熱特性。此外,AXCELIS GSD監測器在科學研究中被用作分析離子植入對某些材料影響的工具。總體而言,EATON NOVA GSD是一種創新而強大的離子植入器和監控器,用於將離子植入多種基材中。它通過其精確的控制系統提供了高度精確的植入過程,並具有確保安全和成功的過程所必需的所有安全特性。GSD具有廣泛的應用和特點,是工業和研究實驗室的寶貴工具。
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