二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9201110 待售
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EATON NOVA/AXCELIS GSD是一款高度先進的離子植入器和監控器,開發用於現代半導體工藝。它配備了最新功能,服務於多種行業用途。它是離子植入技術領域的一項創新,旨在提供高性能、可靠性和多功能性。AXCELIS GSD利用先進的真空設備作為離子源,植入器模塊產生離子束,將摻雜劑和離子引入底物。摻雜劑有助於提高半導體的導電性,使其運行效率更高。它可以很容易地配置有各種離子源,例如雙束線配置,以及其他可交付參數,使其適合一系列應用。此外,EATON NOVA GSD還配備了嵌入式軟件監視器,可以定期評估系統的性能。顯示器允許遠程訪問植入器,使操作員能夠監控設備的健康和安全。此外,電子數據管理單元允許用戶通過連接網絡的硬盤存儲數據,並在需要時輕松訪問數據。GSD還設計了集成模塊,用於精確激光對準。它為復雜的晶圓圖樣提供了優越的光束控制,使結果更加精確,誤差更小。此外,它還使操作員能夠將非常薄的材料層,如金或鈦,沈積到晶圓表面上。這項技術提高了摻雜過程的均勻性。此外,EATON NOVA/AXCELIS GSD還設計了一個安全機器,可以提醒操作員註意任何潛在的問題。如果遇到危險情況,它會停止和隔離離子束,保護設備和操作員免受任何傷害。該工具還具有集成的安全衛士,可以減少操作員的風險和危害,同時仍允許他們精確地執行必要的任務。總體而言,AXCELIS GSD是一種最先進的離子植入器和監視器。它的設計既方便用戶,又提供卓越的性能。這也是一個令人難以置信的可靠和多用途的技術,將有利於任何半導體處理環境。
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