二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9210440 待售
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已售出
ID: 9210440
晶圓大小: 6"
Ion implanter, 6"
Energy: 160 keV
(17) Batch wafers
Utility configuration:
Tool specification:
Line power:
Input power: 208VAC, 3 Phase, 60Hz, 130A, 42kVA
Output power: 160KeV, 20mA
Utility gas:
Name / Connection type / Size
CDA / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Ar / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
PN2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
GN2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Gas box N2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Exhaust:
Qty / Description / Type / Flow rate (CFM) / Size / Exhaust hood
(2) / Environments / GEX / 500 / 4", PVC / Y
(1) / Cryo pump / SEX / 40 / 1", SUS / Y
(2) / Gas cabinets / SEX / 600 / 2", PVC / Y
(2) / RP Exhausts / SEX / 100 / KF-40, Clamp / Y
Cooling water:
Description / Pressure (PSI) / Flow rate (GPM) / Temperature (°C) / Size
City water / 100 / 20 / 25 / 1", SUS, Clamp
DI Water refill / Manual / Manual / - / 1", PVC, Clamp
System configuration:
End station module:
Notch / Flat finder: Flat
Cassette type: Standard
Dummy cassette
Load buffer
Vacuum cassette
(4) Cassette tables
Cell controller
Loadlock type: GSD100/200
Process module:
Disk: NV-GSD
In-vac arm
Wafer holder
Pedestal
Gyro: NV-GSD-100
Linear drive
Belt drive
Beamline type: GSD 200
Maximum extraction voltage: 160KeV
AMU: Axcelis
Source module:
Source head: IAS
Filament PS: EMI EMS 10-60
Arc PS: EMI EMS 150-7
Source magnet PS: EMI EMS 40-25
Source bushing
Source injection: MKS 1640
Vacuum system:
P1 / Source turbo: STP-A2000C
P2 / Resolving cryo pump: CTI
P3 / V3 Cryo pump: CTI
(3) Ground bars
Sub-systems:
NESLAB HX-150
CTI 8300/8500
1994-1995 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD是為高通量離子植入應用而設計的離子植入器和監視器。可用於加工多種材料，包括半導體、陶瓷和薄膜。該設備運行在一個專有的軟件包，AXCELIS GSD植入軟件，這使得靈活和優化的過程控制。植入過程由一個二極管加速，能夠高能傳遞，而一個12向光束線使得多種植入物種/能量可以獨立使用。它具有410毫米方形晶片卡盤和固定腔室架構,可實現高吞吐量操作。通過測量離子電流、壓力、溫度、氣流和晶圓位置的傳感器對該過程進行監測。該設備還集成了先進的診斷和反饋控制系統，能夠快速準確地測量關鍵過程參數。此外，植入後審查和過程優化的分析工具作為軟件包的一部分包括在內。EATON NOVA GSD智能控制系統優化植入，減少周期時間，最大限度降低總成本，確保植入精度達到最高水平。為確保過程操作過程中的安全,該設備具有多種安全系統,包括用於檢測泄漏的安全聯鎖和警報。其模塊化布局還可以方便安裝、操作和維護。這一通用系統用於醫療設備、航空航天和汽車零部件等工業市場，並用於研發目的。它為研發工作和大批量制造提供了一個極好的平臺。
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