二手 EATON NOVA / AXCELIS HC3 Ultra #9411352 待售
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ID: 9411352
Ion implanter
YASKAWA Robot
YASKAWA XU-ACL4140 Robot track
Disk type: Variable Speed Drive (VSD)
Wafer transfer type: In-Air
Dry transformer
HYT
Vacuum ARM: CAM Arm
(3) CTI-CRYOGENICS 250 F (On-board) Cryo pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
Shower type: P-Shower 11020020
Cell type: V6
BROOKS AUTOMATİON Fixload load port
Spare parts:
Part number / Description
1187286 / Disk TC DI Cryo interlock
11053210 / Cell controller V6
11049380 / Scan controller
11054580 / Wafer transfer controller
11054560 / Load lock controller
1195730 / Rotary drive controller
11028010 / Rotary drive amplifier
XU-BCD3111 / YASKAWA Robot driver box
XU-CN0821 / YASKAWA Robot controller box
11050220 / Power dose controller
11017920 / Gas box controller
110000950 / Source controller
1214110 / Filament PSU
1214120 / Arc PSU
1214130 / Cathode PSU
1188151 / Terminal beam line DI
1163967 / Ground electronic DI
1163960 / Ground electronic DI
1195140 / Disk VAC DI
1188310 / Electrode manipulator DI
1214460 / Plasma filament PSU
11020020 / Plasma controller
110098500 / 100101530 / Rotary driver brake controller
2100276 / Source magnet PSU
1188375 / Terminal electronic DI
2200176 / Decal PSU
2200173 / HV PSU Extraction suppression
2200173 / HV PSU Decal suppression
11054570 / Gyro controller
11034940/ 2200175 / AMU PSU (Power ten)
2200187 / Extraction PSU
1196510 / Gyro ball screw assembly
1196610 / V43
1908930 / Air interface
1908940 / Air interface
110001490 / Wafer holder assembly
11030960 / CAM Arm assembly
110002530 / V3 Assembly
11047650 / V7
2014 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra是一種高度精密的離子植入器和監控設備,旨在滿足現代離子植入應用的需求。該工具具有能加速離子高達50 KeV的高電流離子源、多級可拆卸真空室、自動制圖系統和健壯的控制包。AXCELIS HC3 Ultra對於在有源微電子、電介質和基板中形成優質層特別有利。EATON NOVA HC3 Ultra使用靜電浸沒透鏡單元，以確保一致的離子束指向目標區域。這臺機器還使用戶能夠精確調整離子束的形狀，以及它的大小和擴散。此外，HC3 Ultra包含一個多級可拆卸真空室，有助於維持穩定的離子註入過程環境。EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra還具有先進的用戶友好界面。其直觀的圖形用戶界面使用戶能夠完全監控工具，並調整離子源電流（最高50 KeV）等參數來控制過程。該軟件還幫助用戶調整離子的束形狀和能量擴散。此外，用戶能夠在植入程序之間進行選擇和切換，以及存儲自定義氣體混合物。AXCELIS HC3 Ultra包含許多其他創新功能。例如，它的自動模式化資產使用戶能夠使用預先選擇的植入能量和劑量對基板進行圖樣化。它還具有獨特的移位寄存器,允許用戶進行增強的逐層植入過程。EATON NOVA HC3 Ultra是一個理想的離子植入器和監控那些從事先進的植入過程。其高電流離子源、多級可拆卸真空室、自動化模式模型、用戶友好界面，使其成為實現快速準確植入效果的最佳工具。而且，其獨特的移位寄存器和可調節的橫梁形狀和展平特性為用戶提供了廣泛的制圖和打造高品質層的選擇。
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