二手 EATON NOVA / AXCELIS HE3 #293651196 待售

EATON NOVA/AXCELIS HE3是由Eaton AXCELIS Technologies設計制造的先進離子植入器和監控系統。該裝置是一種高能重離子植入器，能夠生產精密、高質量的材料植入半導體晶片。該機器配備了先進的原位工藝監控系統，以確保所有半導體晶片的一致、可靠的植入。EDNAXCELIS HE3背後的技術是基於以60 MeV電子源為能源、高能離子束加速到1-20*107 eV能量範圍的束線加速器。這種能級使得植入過程能夠根據各種晶圓生產標準的具體要求量身定制。該裝置配備了一系列優化植入過程的特性，從光束方向和分布的精確對準，到控制粒子的能量和質量。它還提供了一系列額外的功能，旨在確保晶片的穩定和可靠的植入。這包括自動關閉和安全警報等安全措施，允許操作員在需要時監控和調整植入過程。此外,該設備還包括溫度監視器等選項,以確保晶圓溫度保持在最佳工藝範圍內。此外，該裝置還包括一系列傳感器和監測器，可精確確定離子註入量和能級，以幫助防止表面損傷要求的偏差。EATON NOVA HE3還包括一系列反饋回路，允許制造商在必要時實時調整參數。這可以精確地植入材料，同時考慮到由於晶片內的工藝變化或變化而需要進行的任何調整。最後,該機器還具有一系列診斷功能,如電流監測、過程信號分析、電壓和樣品診斷,有助於確保植入晶片的質量。總體而言，HE3是一個先進而可靠的系統，專門為高質量、精確的離子植入而設計。該裝置經過精心設計，以滿足半導體制造商和生產商的需求，使他們能夠生產出精密程度和一致性無與倫比的高質量和可靠的產品。