二手 EATON NOVA / AXCELIS Interface module for 8250 #293587301 待售

ID: 293587301
晶圓大小: 6"
6".
EATON NOVA/AXCELIS 8250 Ion Implanter&Monitor是一種計算機控制設備,設計用於將離子輸送到基板中,以提高材料和組件的性能。AXCELIS 8250包括三個主要組件:離子植入器、顯示器和控制器。離子植入器負責在基板上提供所需的離子束電流和束質量。這是通過使用高真空環境、野外發射槍和質譜儀實現的。然後使用監視器通過記錄光束電流、能量及其在基板上的分布來監測離子束的性能。最後,控制器是一個集成設備,提供對離子植入器,監控和各種安全系統的控制。在EATON NOVA 8250的中心是一條高能束線,它將離子加速到所需的能級,並將其引向基板。這是通過控制光束電流、能量及其分布的高壓電源完成的。此外,保持高真空環境,以防止表面汙染物對離子造成任何損害。為了進一步提高8250的功效,它可以配備一個二次電子倍增器,對束電流和能量分布提供更大的控制。此外,離子捕獲磁體被用來引導光束,而鹵素燈被用來產生最佳的光束輪廓。EATON NOVA/AXCELIS 8250還配備了一系列輔助系統和裝置,如離子源預噴射器、感應弧室和離子束監視器。離子源預噴射器用於在將離子束註入植入器腔之前制備離子束。感應弧室用於增強光束輪廓,而離子束監視器用於檢測任何光束中斷。AXCELIS 8250還配備了包含視頻顯示和音頻報警單元的自備安全系統,以及在緊急情況下關閉電源的斷路器。最後,EATON NOVA 8250 Ion Implanter&Monitor是一種先進的設備,用於通過將離子植入基板來改善材料和組件的性能。8250配備了高真空環境和一系列部件,如野戰發射槍、質譜儀和感應弧室,並通過增加安全性的安全機器進一步增強。而且,先進的控制能力賦予了用戶精確控制設備性能的能力,讓他們取得了更好的效果。
還沒有評論