二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #293821332 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160是一種先進的離子植入器/監視器，用於將離子植入各種底物，以提高其性能。這臺機器被用於半導體制造業，可用於將各種離子植入基板。AXCELIS NV10-160具有強大的離子源和可調束參數，使其能夠在精確控制的情況下將離子植入基板中。EATON NOVA NV 10160裝有10厘米x 160度離子束。這使得它可以在x軸中以每100毫米+/-10微米的精度和y軸中+/-1度的精度植入離子。此外，它的投影長度高達15厘米，使它能夠在更大的距離植入離子。離子源能夠在高達5千伏的電壓下產生高達1.6A的電流，從而產生高達32mA/cm2的光束電流密度。這樣可以確保基板均勻地植入離子，從而使設備性能更好。EATON NOVA NV10-160也與各種監測系統相結合。其離子束位置監控設備（IPMC）能夠以x軸+/-1微米、y軸+/-1度的精度測量和微調光束位置，使用戶能夠準確地植入離子。此外，其光束電流和強度監測系統能夠測量和控制光束電流和強度，確保離子均勻植入基質中。EATON NOVA/AXCELIS NV 10160的電子控制單元采用多頁圖形用戶界面（GUI）設計。這允許用戶快速修改離子植入參數，使他們能夠優化他們的過程周期時間。此外，它還提供各種安全協議和多種保護措施，確保用戶安全地控制離子植入過程。總體而言,EATON NOVA/AXCELIS NV10-160是一種先進的離子植入器/監視器.它具有一個離子源和可調束參數，使其能夠植入離子精確控制。再者，它與各種監控系統集成，讓用戶優化流程周期時間，確保用戶安全。