二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #9199861 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160是一款高壓植入器和顯示器，旨在處理現代離子植入需求。該設備能夠以高達10 kV的功率運行，目前的功率範圍高達160 mA。它有一個內置的數字顯示屏，可以用來監控和控制劑量、電流、電壓和時間等參數。AXCELIS NV10-160具有直觀的觸摸屏界面。此界面使用戶可以使用簡單的菜單輕松設置、監視和調整系統參數。它還允許數據收集，監測和記錄植入物運行，具有快速回憶以前的參數的簡單設置和可重復性。此外,還可以為特定的應用程序或工藝配方定制接口。EATON NOVA NV 10160還包括一個多能量植入源，允許在單個電壓循環中有多個能量水平。這允許更高質量的植入與較少的能量波動。該單元還提供了廣泛的能量擴散和目標植入物配置文件，以改進控制，可重復性和準確性。AXCELIS NV 10-160能夠支撐廣泛的晶片、基板和模具。這允許植入一系列組件，包括內存芯片、邏輯IC、MEMS、MEMS-RF組件和其他柵極結構。該機提供了一系列的口罩和準直器，可用於集中離子流，提供比均勻植入更高的準確度。除了其難以置信的靈活應用的可能性，NV10-160還具有低溫操作和低光束電流能力。這允許更苛刻，超精密的植入物，同時減少漂移和熱應力對基板的影響。此外，該工具利用先進的安全功能和自動報警，以監測和保護植入過程的完整性。總體而言,EATON NOVA/AXCELIS NV10-160是一款商用級的頂級離子植入器和顯示器,具有超高的精度和靈活性。其直觀的觸摸屏界面、多能量植入源、精確度、低溫操作和安全措施，使其成為從內存芯片到MEMS-RF組件任何植入的理想選擇。