二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #9358247 待售

Eaton/NovaEaton NOVA/AXCELIS NV 10-160離子植入器和監控器是一種半導體制造裝置，用於控制集成電路和其他半導體器件制造中離子植入的深度和分布。它融合了高壓直流發電機、電源和真空系統，以及GaAs、PFC、XeCl等廣泛的離子源。這臺機器能夠植入高達160萬伏的離子，提供高度的精度和控制。該機配備自動振蕩快門系統，控制撞擊半導體材料的離子的光斑大小和深度，源對目標距離可達1.25米。這使使用者能夠精確控制植入基質中的劑量、能量和離子種類。這對於制造過程中適當的摻雜控制和輪廓控制至關重要。該機器有一個內置的離子束監測器和一個數字讀數，可以連續測量每種離子種類的濃度和離子源離子濃度的變化率。每次植入時還測量離子電流，給出植入過程一致性的實時狀態。該監視器還能夠測量基材中植入層的電阻率，以確保達到所需的電阻率值。DV 10-160還配備了計算機控制裝置，用於裝卸晶片和離子，以及監測工藝參數。軟件包還包含一個獨立的驗證系統，允許用戶在植入前後檢查每個晶片的參數設置，從而允許在生產過程中進行高度的質量控制。此外，這臺機器還配備了機械夾具，用於在植入過程中固定基板和之後的目標材料，確保兩者的精確放置和定向。這進一步提高了植入過程的精度和精確度。Eaton/NovaAXCELIS NV10-160離子植入器和監測器是半導體制造過程中不可或缺的一部分，提供了對摻雜型材、電阻率和植入物劑量的最佳控制，以及輔助質量控制和生產過程。