二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-80 #9183991 待售
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已售出
ID: 9183991
High current ion implanter
Standard beam controller
Kaiser HVPS
Bernas ion source
With AT4 autoloader (*non-functional)
Includes data flow option
SDS and high pressure (SDS B11 and PH3)
High pressure Ar
6” Clampless (150 mm Set up)
Vac exchange arm
(2) Disks
80 KeV Max
Kaiser high voltage power supply
Vaporizer: Yes
Cryo pumps: (2) CTI 8 standard + compressors
(4) Gas high pressures
Disk exchange arm type: Vacuum
Analyzer power supply: EMI Type
Pumps: (2) LEYBOLD D40 B (RP3, 4)
Electronics (CPU Software / PCB Type):
Vac controller: VAC 733 (101 MB)
Dose controller: 796 Rev. E (101 MB)
AMU Controller: AMU618 C (101 MB).
EATON NOVA/AXCELIS NV 10-80是一種離子植入器&監視器，旨在提供可靠準確的脈沖離子植入。它有一個專利，優化的光束線設計，自動化和精確控制。該設備具有先進的波束控制模塊和過程控制軟件，能夠在不同的過程條件下實現高效的氣流控制、位移控制和波束電流調節。該系統還具有緊湊、節省空間的設計，允許開箱安裝和設置。AXCELIS NV 10-80由於其優越的光束特性，如脈沖速率、脈沖形狀、脈沖持續時間和脈沖電流，提供了卓越的離子註入性能。它具有很高的植入效率，可以減少晶圓中未植入離子的數量，從而提高產量，降低成本。該裝置還具有專有的實時植入物自我診斷功能，可以在植入前或植入期間檢測光束的不規則性。EATON NOVA NV 1080配備了完全集成的監控、測量和控制功能。機器的監控面板顯示所有重要信息，包括速率、壓力、劑量、電流和植入物位置。該工具還具有自動腔室、光束和晶圓掃描功能，以及晶圓旋轉、聚焦和對準功能。這使得用戶能夠精確控制植入劑量，優化束參數。NV 10-80使用簡單靈活，可供經驗層次廣泛的操作員使用。它是一種經濟高效的生產解決方案,具有高水平的過程可控性、生產率和大中型應用程序的產量。資產也易於維護，可以提供長期可靠性。AXCELIS NV 1080旨在滿足最高的安全性和質量標準,並且可以長時間保持高性能。它符合HAS標準,在質量、安全和可靠性方面符合最嚴格的行業標準。
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