二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10 #9036797 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 10是一款用於半導體器件制造的高性能離子植入器和監視器。它是一個先進的分析平臺，旨在精確監測過程參數，並以極高的精度植入單個離子。最先進的內置控制功能允許操作員快速設置和維護一致的植入過程。此外，還可用於對植入的離子、頻率、濃度和分布進行即時分析。AXCELIS NV 10的關鍵部件包括一個移動植入頭的精確控制、高精度、三軸直線電機平臺，允許超高精度和分辨率。配有主動分析室，用於測量離子註入速率、光束光斑大小、離子質量和能量，以驗證工藝結果。其反饋設備有助於在各種條件下保持植入過程的恒定。EATON NOVA NV 10還包含一系列高級功能,用於監控和記錄植入物頭部相對於樣品的相對位置變化。這允許用戶優化精度精度和可重復性。它還包括一個離子測量系統，提供對離子植入速率、光束光斑大小、離子質量和能量的實時測量。NV 10有一個自動化的晶片處理單元，允許快速高效地植入多個晶片以提高吞吐量。自動化機器最多可支持四個晶片盒式磁帶,能夠快速或在操作過程中更換植入物樣品,而不會中斷該過程。總體而言，EATON NOVA/AXCELIS NV 10是一款功能極其強大且精確的離子植入器和顯示器。它是為具有挑戰性的過程而設計的，需要穩定和精確地控制植入工具和過程參數。該資產易於使用，為植入過程提供了極好的準確性和穩定性，使其可用於多種應用。