二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 1060 #9013660 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 1060是一種離子植入器和監測器，用於精確控制半導體制造過程中離子的沈積。AXCELIS NV 1060具有創新但簡單的設計，使得它比其他類型的植入器更能實現對離子沈積的控制。EATON NOVA NV 1060由安裝在可以移動到不同位置的導軌上的轉塔組件組成。炮塔裝有兩個離子源（一個用於低電流，一個用於高電流）和一個用於離子源電壓和功率水平的控制系統。炮塔還包含一個磁力計，向離子源提供反饋，以確保其精度和一致性。NV 1060使用射頻濺射技術將離子沈積到基板上。它能夠根據電壓和其他參數產生各種劑量，以滿足應用程序的特定要求。EATON NOVA/AXCELIS NV 1060可以提供高達5 AM的劑量，而其他一些類型的植入物只能達到幾個100 kV。AXCELIS NV 1060具有自動監控系統,該系統不斷向主機計算機發送數據以跟蹤植入過程的進度。可以分析這些數據以確保離子劑量一致。EATON NOVA NV 1060內置了多種保護功能,以防止過壓和其他可能損壞敏感組件的情況。NV 1060還具有觸摸屏和直觀的用戶界面,允許用戶快速對每個植入過程進行更改和調整。界面可以顯示顯示植入過程進度的圖形和圖表，並允許用戶輕松訪問植入程序的所有參數。總體而言,EATON NOVA/AXCELIS NV 1060是一款功能強大且可靠的離子植入器和監視器,專為實現準確性、控制和用戶友好性而設計。它的多功能性和耐用性使得它成為半導體制造商的熱門選擇，他們要求在很長一段時間內保持一致和可靠的精確沈積速率。