二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 3206 #9105737 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 3206離子植入器和監控器是一種中等容量的設備，設計用於高精度離子植入和半導體器件制造。它有一個串聯質量分析儀，一個專利的「三窗」技術，確保植入精度和可重復性從基材到基材。顯示器提供了廣泛的植入率，最多四個光束可以同時工作的高精度放置任何類型的可植入材料。AXCELIS NV 3206是制造半導體元件（包括電子和光子器件）以及微機電系統（MEMS）的理想選擇。它配備了1,000安培每厘米平方束電流額定值和植入器劑量率能力高達90微安每厘米平方，質量精度小於百萬分之一。該設備的計算機控制用戶界面允許精確的用戶定義植入程序，其中包括植入參數，如劑量、能量、頻率和斑點大小。該系統還包括一個離子束提取單元，旨在最小化背景粒子計數，並在各種植入運行中提供盡可能高的可重復性。該監視器具有高精度的光束移位功能,可實現廣泛的能量和電流組合,從而實現高精度的離子植入操作。此外，該機的高帶寬E場控制具有兩種優化的E場配置文件的選擇和基板分級的可變極性模式。EATON NOVA NV 3206是一個可靠、通用的工具，用於優化生產和原型植入的性能。其離子源設計減少了停機時間，提高了總體產量。它還具有慣性穩定的光束傳輸資產,可確保光束純度並提高設備的成像性能。該監視器具有內置的監控和診斷功能,可快速準確地反饋和分析植入操作。