二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200 #9013661 待售

AXCELIS 6200是一種離子植入器和顯示器，設計用於在半導體制造過程中將摻雜劑植入半導體基板上。該設備以1.5 x 10^7 cm-2 sec-1的最大劑量速率進行離子植入，可用於植入多種材料，包括硼、砷、磷、鋁等材料。EATON NOVA 6200配備了一個計算機化的控制裝置，能夠精確控制所有參數和設置，並能夠實現全面的性能監測系統。EATON NOVA/AXCELIS 6200由兩個相互連接的單元組成-離子源和加速器。離子源負責產生所需物種的離子，可以配置成產生帶正電或帶負電的離子。加速器用於增加離子的能量，使其在植入過程中能深入到基質中。這種加速器利用電磁場來增加離子的速度。AXCELIS 6200能夠將淺（小於1微米）和深（大於1微米）的植入物植入最大劑量為5E15原子cm-2的基質中。還配有集成冷卻裝置，保證使用壽命長。這臺機器能夠在50毫秒的循環時間內處理直徑達200毫米的晶片。其精確劑量均勻度測量為+/-0.5%。EATON NOVA 6200還設計用於數據通信,使其能夠連接到客戶的網絡。該工具與Windows、Macintosh和Unix操作系統兼容，也可以遠程監控。用戶可以訪問所有可用的參數和設置,從而可以完全控制植入過程。此資產還提供圖形用戶界面,提供全面的監控和報告。EATON NOVA/AXCELIS 6200是一種極好的工具，用於淺/深植入、接觸孔和小晶片上植入等應用。該型號用戶友好,可輕松集成到客戶現有的半導體制造生產線中。