二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200 #9266104 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200是一種離子植入器和監測器，由一家專門設計和生產各種離子植入和摻雜設備的半導體元件公司Eaton Corporation開發制造。AXCELIS NV 6200是一種高度精密的裝置，利用高能的離子束將摻雜原子，如移植入到構成晶體管、集成電路和其他類型微電子器件基礎的材料層中。它提供連續輸出的摻雜離子，以精確地在材料中創建所需的摻雜剖面。IonImplanter裝置有一個控制系統，能夠快速準確地監測和調整輸出。它可以手動或自動模式運行，操作員設置能量、束電流、槍電壓、腔室壓力等所有參數。EATON NOVA NV 6200效率高，可以長時間不間斷運行，長達24小時。機器測量數十種不同材料的植入率，包括矽、III-V化合物和多層基板。NV 6200配備了一系列安全系統，因此操作員無需擔心可能的爆炸性或有毒物質。設備會遵守所有標準安全協議。EATON NOVA/AXCELIS NV 6200可以支持負載鎖定、可變軸掃描儀、對稱植入物和光束整形等多種選項，允許操作員自定義植入離子的角度、位置和圖案。監控系統可以測量所有參數並顯示錯誤,同時支持各個組件之間的可追蹤性,以確保安全滿足所有參數。AXCELIS NV 6200是用於制造微電子器件的預光刻工藝中必不可少的工具。其精確的控制和可靠性，加上連續運行的能力，使得它成為生產線不可或缺的設備，需要可靠和可重現的結果。全自動監控系統可確保結果在整個過程中準確一致,從而實現更高的產量和更高的制造效率。