二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #293628042 待售
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單擊可縮放
ID: 293628042
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Implanter, 6"
Energy: 5 to 200 kV
Accel PS: 180 kV
Extraction: 20 kV
Neutral gas: Argon
Hot source with oven
(3) Gas box lines with mass flow
(2) External gas box lines
Extraction housing
Magnet range: 125 Standard voltage
Dose uniformity and repeatability: 1 σ < 0.5%
Type: Dual platen, continuous through put, cassette to cassette
Fully automatic, pick and place
Throughput: 250/hr
Wafer tilting: 0 To 10°
Wafer orientation: 0 To 360°
Wafer breakage: Less 1 wafer out of 20000
Cooling water: 3 GPM with 80°F
Input temperature: 30 - 60 PSI
Compressed air supply: 90 - 125 PSI
Dry nitrogen: 60 - 70 PSI
Heat dissipation:
Air: 16750 BTU/hr
Water: 49000 BTU/hr
Exhaust air volume:
Gas box: 300 CFM (minimum)
H.V Terminal: 300 CFM (minimum)
Power: 24 kVA, 208 V, 3 Phase, 5 Wire, 50/60 Hz
1990 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A是一款先進的離子植入器和監視器,其創建目的是為了提供高度精確、精確和可靠的離子植入處理。這使得用戶無論離子種類、劑量和能量範圍如何，都能獲得最大的制造性能。AXCELIS NV 6200A是離子植入領域最重要的設備之一。EATON NOVA NV-6200A的設計在其成功中起著很大的作用。該機采用加熱、自清潔、石英真空設備，專為惰性氣體和二極管技術量身定制。其超高真空（UHV）版本是超低能碳氫化合物離子的理想選擇。這臺機器還利用了專有的RadialFieldTechnology,它可以實現高度統一的多點植入輪廓。此外,EATON NOVA/AXCELIS NV-6200A的構建可適應一系列半導體工藝,從而在復雜的植入過程中提供更大的靈活性。AXCELIS NV-6200A還具有集成的監視器,可實現閉環反饋和控制。該系統使用戶能夠監控粒子束電流、壓力和氣流，進行實時調整和校正。此外，監視器還可以診斷各種單元狀況，並允許預防性維護，以提供可靠的操作到納米水平。通過這種方法，用戶可以確保工藝條件保持在尖端形狀，從而使核共振分析成為可能。總體而言，NV 6200A是一種強大可靠的設備，可以處理最復雜、最先進的半導體加工需求。它允許用戶使用一系列離子種類、劑量和能量來實現高度精確和精確的植入過程。通過利用Radial Field Technology以及集成的監視機器,該機器有助於確保制造性能最大化並成功完成任意數量的過程。
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