二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9270103 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A是一種高性能的離子植入器和監視器,旨在提供可靠和可重復的植入過程以及對光束性能的常規監控。這臺機器將堅固和可擴展的體系結構與創新的軟件和硬件相結合,這些軟件和硬件優化了光束電流傳遞,提供了更高的準確性、效率和可靠性。AXCELIS NV 6200A能夠植入從最小到最大的各種功能。它具有30kV到40kV的工作電壓以及用戶可以設定的電流、劑量、植入物角度等各種操作參數。它能夠提供高達1200安培的光束電流，精度為0.5%，占空比大於99%。EATON NOVA NV-6200A有一個數字離子束控制器，能夠精確和可重復地控制植入的離子。它有一個集成成像設備，允許用戶調整光束的聚焦，實時監控植入的物體。監視器有一個先進的軟件套件，允許用戶實時監控光束的性能，以更有條理、更一致的方式記錄數據。這臺機器還配備了一個自動端點控制系統，該系統監視光束電流，並根據用戶定義的參數自動調整。端點控制單元還智能優化光束電流和光束形狀，確保達到預定義的端點目標。NV-6200A還配備了一個集成的溫度控制機，用於鎮靜和維持負載鎖室中氣體的溫度。這有助於最大限度地減少植入過程中的物體畸變，並確保穩定的植入過程。EATON NOVA/AXCELIS NV-6200A提供完整的備件清單和各種服務選項,使用戶能夠最大限度地延長工具的使用壽命。這一範圍從預防性維護服務到烤箱重新接合，以防止灰塵和碎屑堆積。最後,EATON NOVA NV 6200A是為最大的安全性而設計的。它被封裝在不銹鋼外殼中，並配有先進的安全資產，可以防止任何潛在的事故發生。它還具有在光束移動時向操作員發出警報的運動傳感器,以及激光輔助的安全鎖定功能,以防止未經授權的訪問。