二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9272603 待售
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ID: 9272603
晶圓大小: 6"
Medium current implanter, 6"
Energy: 200 KeV
CPU: Pentium-MMX
Source vacuum pump: Dry
Beam-line vacuum pump: Dry
End station vac pump: Dry
End station: Enhanced
Cryo pump.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A是為高精度離子植入而設計的先進離子植入器和監控設備。包含的離子源能夠產生廣泛的劑量和能量，使其成為矽基板和其他材料的精確摻雜的理想選擇。系統的軟件和硬件為用戶提供了對離子植入過程的精確控制，既允許高精度又允許重復性。該設備具有多種功能,包括用戶友好的界面,用戶可以輕松設置和監控其流程。它還允許用戶調整植入物的參數，如光束形狀、光束大小和劑量。此外,該單元還包括用於監視過程的功能,如束電流監視器、累積劑量監視器和過程狀態監視器。AXCELIS NV 6200A具有一個低真空沈積室，非常適合受控植入，並提供出色的光學接入。該機還可以配置一系列矽預塗層選項，包括氧化物塗層、有機金屬塗層和光阻塗層。這使得多種矽基板可以用於離子植入。對於流程苛刻的用戶，該工具還包括一系列高級功能，如全自動脈沖植入物和多個植入物組合。這些功能為用戶提供了對其流程更好的控制和準確性。為了確保資產始終以最佳效率運行,它包括了一些附加功能,以最大程度地減少汙染並提高流程性能。這些特點包括潔凈室兼容制造、自動晶圓處理模型和一系列集成傳感器來監控腔室大氣。傳感器不斷監視和提醒用戶註意過程中的任何變化，確保設備盡可能高效地運行。EATON NOVA NV-6200A是一個強大而精確的離子植入器和監控系統，為用戶提供他們所需要的準確性和控制。該裝置的精確度和可靠性使其成為各種植入應用產生高質量、可重復結果的理想選擇。此外,它還包括高級功能和傳感器,可確保輕松設置、監控和準確操作。
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